【摘 要】
：
在制备串联高压LED阵列工艺中,ICP刻蚀工艺引起的漏电与断路问题是高压LED电流输运特性中的核心问题。本文着重从刻蚀深度、掩模材料以及隔离槽制备方面分析了ICP刻蚀工艺对
【机 构】
：
北京工业大学北京光电子技术实验室,中国联通北京分公司网管中心网络分析调度中心
论文部分内容阅读
在制备串联高压LED阵列工艺中,ICP刻蚀工艺引起的漏电与断路问题是高压LED电流输运特性中的核心问题。本文着重从刻蚀深度、掩模材料以及隔离槽制备方面分析了ICP刻蚀工艺对高压LED的漏电、电极开路等电流输运问题的影响。通过随机抽取样品进行电学测试并结合SEM观测,对比了不同工艺过程,得出ICP工艺是导致串联高压LED阵列中可靠性问题的主要原因。并通过优选ICP刻蚀工艺,使高压LED电流输运特性得以改善,制备出~12 V的四串联高压LED阵列器件。
其他文献
<正>一、统一规定保外就医适用对象保外就医的适用对象应界定为:被判处有期徒刑或拘役的罪犯。理由为:1.从立法规格上来看,《刑事诉讼法》规格高于《监狱法》,应以《刑事诉讼
国际债券是国际资本市场上一个极为重要的长期资本融通工具.国际债券的交易主体多种多样,发售过程比较复杂,往往涉及不同国家的不同法律规定.因此,国际债券合同的法律适用问
汽车给我们的生活带来了便利与舒适的同时,也给社会带来了环境的严重污染和能源的过度消耗。文章从汽车消费税、燃油税、车辆购置税等几个方面,提出了进一步优化我国汽车税收
针对由于中国汽车消费税的分级方法不够合理,而导致全球车企小排量涡轮化的问题,本文通过对国内外汽车市场的研究分析,提出了相对更为科学合理的汽车消费税分级方法,为政府合
通过叶面喷施施肥方式,研究了在叶面喷施的方式下锰、硼、锌、钼,对北豆12、垦丰16和垦农22的蛋白质含量、油分含量的影响,北豆12的蛋白质含量在不同微肥处理下,均表现为蛋白