PTFE高频溅射膜及Freon等离子聚合膜

来源 :含氟材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wonkyman2
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聚四氟乙烯(PTFE)在氩气中溅射(sputtering)生成的薄膜,或 PTFE 蒸汽形成的氟碳薄膜,已以其具有不少有用的特性而颇负盛名。到目前为止,对电子枪轰击加热使 PTFE 汽化生成之氟碳薄膜的电气特性与结构的关系,以及 Freon 等离子聚合膜的交流导电率及电容量进行了比较深入的研究,对薄膜的机械性能、光学性能也 Polytetrafluoroethylene (PTFE) Films formed by sputtering in argon, or fluorocarbon films formed from PTFE vapor, have become well-known for their many useful properties. So far, the relationship between electrical properties and structure of fluorocarbon films heated by electron bombardment by bombardment of PTFE and the AC conductivities and capacitances of Freon plasma polymerized films has been studied in depth. The mechanical properties, optical properties Performance also
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