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重点介绍了金属波导膜厚测量仪的制备原理、结构和特点,测试表明该装置是一台先进的微波性能检测设备,C波段圆极化铁氧体移相器波导膜系的膜厚均匀度不大于5%.
金属波导膜厚测量仪的研制
【摘 要】
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重点介绍了金属波导膜厚测量仪的制备原理、结构和特点,测试表明该装置是一台先进的微波性能检测设备,C波段圆极化铁氧体移相器波导膜系的膜厚均匀度不大于5%.
【机 构】
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扬州大学,江苏,扬州,225009
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2002年2期
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