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硅材料的特殊电学特性使得传统的电火花线切割伺服控制系统所采用的放电状态检测方法失效。为此提出了一种采用“进给-后退-再进给”运动方式的往复渐进自适应控制方法。阐述了往复渐进自适应进给原理与运动控制流程，分析了通过往复渐进运动能够弱化换向纹的机理，并结合在线检测技术、预测控制及模糊控制理论实现了进给速度以及放电电流阂值等重要运动控制参数的自适应调整。在自主开发的伺服控制系统上进行了硅材料电火花线切割实验，结果表明所提出的新方法切实可行，具有较强的自适应控制能力与明显的弱化换向纹的效果。