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详细研究了采用金属有机化合物热分解法制备锆钛酸铅Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜的工艺，讨论了影响PZT薄膜相结构的因素。
采用金属有机化合物热分解法研制锆钛酸铅薄膜
【摘 要】
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详细研究了采用金属有机化合物热分解法制备锆钛酸铅Pb(Zr0.53Ti0.47)O3铁电薄膜的工艺，讨论了影响PZT薄膜相结构的因素。
【机 构】
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天津大学电信工程学院
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2001年1期
【基金项目】
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:天津市自然科学基金资助项目
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