sol-gel法制备（002）高度定向的Li：ZnO薄膜

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhf2003168

【摘要】

：

用sol-gel法在玻璃载玻片上旋涂3～9层制备氧化锌薄膜.用X射线衍射、扫描电镜等研究了掺Li、旋涂层数、溶胶的浓度以及热处理温度对氧化锌薄膜(002)定向性的影响.结果表明,溶胶

【作者】

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刘龙春朱兴文陆液

【机构】

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上海大学材料科学与工程学院

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年5期

【关键词】

：

无机非金属材料氧化锌薄膜 SOL-GEL法掺杂定向 organic non-metallic materials ZnO films sol-gel me

【基金项目】

：

上海市教委资助项目

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用sol-gel法在玻璃载玻片上旋涂3～9层制备氧化锌薄膜.用X射线衍射、扫描电镜等研究了掺Li、旋涂层数、溶胶的浓度以及热处理温度对氧化锌薄膜(002)定向性的影响.结果表明,溶胶中掺入一定量的Li可显著地促进ZnO沿(002)生长;浓度为0.45mol/L旋涂3层或浓度为0.25mol/L旋涂7层的样品,即使有Li的掺入也不能呈现较好的(002)定向性,这是由于薄膜太薄所致;提高热处理温度至610℃,有利于薄膜(002)高度定向.

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