功能薄膜火焰法沉积中硼化合物助剂的影响

来源 :第十七届全国高技术陶瓷学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fzyfmm

【摘要】

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研究了不同添加量的硼助剂对火焰法沉积SiO2薄膜的形貌、结构及性能的影响.通过在含有硅和硼前驱物的同流扩散火焰上方沉积,获得了纳米结构的SiO2薄膜.SEM图像表明硼助剂导致了膜层颗粒物尺寸先增大后减小,薄膜沉积速率随着硼含量的增加逐渐增加.AFM的纳米力学定量测量(QNM,Bruker)结果表明:多种硼助剂添加量下,沉积膜的力学性能均得到了明显的提升.沉积膜经疏水化处理后,其超疏水性能变化体现了

【作者】

：

贾毅刘刚武晓峰岳仁亮陈运法

【机构】

：

中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室,北京100190;中国科学院大学,北京100049

【出处】

：

第十七届全国高技术陶瓷学术年会

【发表日期】

：

2012年5期

【关键词】

：

功能薄膜硼化合物助剂性能表征火焰法

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