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通过求解声子辐射输运方程（EPRT）计算得到了薄膜的面向晶格热导率。在薄膜界面采用与声子波长相关的镜反射率模型,考虑了薄膜的厚度、温度和表面粗糙度等对其热导率的影响。结果表明,界面粗糙度对薄膜热导率的影响很大。减小界面粗糙度,会使得薄膜热导率大大增加。另外,薄膜厚度减小使得热导率峰值对应的温度增加。