【摘 要】
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Si 和 SiO2 之间的大折射索引差别使认识到 ultrasmall photonic 集成电路可能。5 ultracompact 穿了的 5 脳基于 500 脳 2 更复合的波导栅栏 50 nm Si nanowire 波导被使用
【机 构】
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Si 和 SiO2 之间的大折射索引差别使认识到 ultrasmall photonic 集成电路可能。5 ultracompact 穿了的 5 脳基于 500 脳 2 更复合的波导栅栏 50 nm Si nanowire 波导被使用电子横梁写和 amorphous-Si 免职的技术设计并且制作。测量隧道间距是大约 1.5 nm (到设计价值的结束) ，隧道串音在附近 ? 8 dB。CLC 数字 TN491
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