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对现代超精密加工技术的发展现状、地位以及在相关领域的应用进行了论述.并对超精密加工设备以及误差补偿技术方面也作了阐述.
现代超精密加工技术的概况及应用
【摘 要】
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对现代超精密加工技术的发展现状、地位以及在相关领域的应用进行了论述.并对超精密加工设备以及误差补偿技术方面也作了阐述.
【机 构】
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重庆大学光电工程学院
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2005年1期
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