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针对研磨机在化学机械抛光方面复杂参数的影响,通过对研磨机的改造与设计,使得研磨工件自转的同时又公转,且速度可调。现详细阐述了改造后摇臂轴结构原理,该结构在工件研磨时,速度可控,研磨轨迹均匀,有效解决了机械抛光中各点去除率差异等问题。
研磨机摇臂轴实验装置系统设计
【摘 要】
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针对研磨机在化学机械抛光方面复杂参数的影响,通过对研磨机的改造与设计,使得研磨工件自转的同时又公转,且速度可调。现详细阐述了改造后摇臂轴结构原理,该结构在工件研磨时
【机 构】
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中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
【出 处】
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机电信息
【发表日期】
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2020年36期
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