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863计划提升了我国MEMS制造工艺平台的水平

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ASINLU

【摘 要】

：

2004年6月底，863计划先进制造与自动化技术办公室委托MEMS重大专项总体专家组对首批重点支持的三个硅工艺MEMS制造平台和一个专业化的MEMS封装平台课题进行了现场验收。验收结

【出 处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

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863计划 中国 提升 平台 专业化 自主知识产权 公布 课题组 水平 支持 

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2004年6月底，863计划先进制造与自动化技术办公室委托MEMS重大专项总体专家组对首批重点支持的三个硅工艺MEMS制造平台和一个专业化的MEMS封装平台课题进行了现场验收。验收结果表明，在863计划的大力支持下，4个课题组都较好地完成了合同规定的各项任务，申请国家发明专利30多项，形成并通过网站公布了数套具有自主知识产权的、有特色的MEMS制造工艺规范，

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