【摘 要】
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ZnO薄膜作为一种多用途的半导体材料,一直受到国内外学术界的广泛关注.尤其是自1997年发现ZnO薄膜的室温紫外光发射以来,ZnO薄膜的制备及其光电子特性的研究成为新的研究热点
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:10174072,50142016)资助项目;国家科技部“九七三”基金(批准号:[2001]584)资助项目
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ZnO薄膜作为一种多用途的半导体材料,一直受到国内外学术界的广泛关注.尤其是自1997年发现ZnO薄膜的室温紫外光发射以来,ZnO薄膜的制备及其光电子特性的研究成为新的研究热点.几年来,研究进展非常迅速,已报道了结型电致发光器件和光电探测器件的初步研究结果.文章结合作者的工作,综述了目前国内外对ZnO薄膜的掺杂以及ZnO异质结和同质p-n结制备方面的研究状况.
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