【摘 要】
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对一种Al/Al2O3/Al多层膜结构的中红外超材料吸波体的吸波性能进行了研究,并分析了其吸波机理。该结构最上层为周期性排布的正方形Al膜阵列,中间介质层和底层分别为连续的Al2O3
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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对一种Al/Al2O3/Al多层膜结构的中红外超材料吸波体的吸波性能进行了研究,并分析了其吸波机理。该结构最上层为周期性排布的正方形Al膜阵列,中间介质层和底层分别为连续的Al2O3和Al薄膜。仿真结果表明,该多层膜结构理论上能够在10.6m实现完美吸波。
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