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<正>薄膜元件应用前景广阔,为进一步探索多层薄膜元件的性能,我们对SnO_2及ZnO体系作了分析研究,得到了双层膜在灵敏度与选择性方面都明显优于单层膜的结论.本文介绍SnO_2/α-Fe_2O_3体系的实验结果.1 实验1.1 敏感膜的制备与成膜物相分析
溅射SnO2／α—Fe2O3薄膜的敏感特性研究
【摘 要】
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<正>薄膜元件应用前景广阔,为进一步探索多层薄膜元件的性能,我们对SnO_2及ZnO体系作了分析研究,得到了双层膜在灵敏度与选择性方面都明显优于单层膜的结论.本文介绍SnO_2/α
【机 构】
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河南师范大学化学系,中国科学技术大学材料科学与工程系,中国科学技术大学材料科学与工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1993年4期
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