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论述了有源电桥在刻蚀低电阻时的测量原理及其方法，提出在低阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法，对测量精度进行了分析，对低阻测量及其控制有一定的参考价值。
低阻测量中消除线电阻和接触电阻的原理及实现
【摘 要】
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论述了有源电桥在刻蚀低电阻时的测量原理及其方法，提出在低阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法，对测量精度进行了分析，对低阻测量及其控制有一定的参考价值。
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春五五所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2000年5期
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