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4H-SiC同质外延生长概述

来源 :智能电网 | 被引量 : 0次 | 上传用户：swl3322

【作 者】

：

杨霏 钮应喜 钱卫宁 王嘉铭 王方方 冯淦 孙永强 李奕洋 李凯 

【出 处】

：

智能电网

【发表日期】

：

2016年04期

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