耐1000℃高温的Pt/ITO薄膜电极SAW温度传感器

来源 :中国测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wendi8888

【摘要】

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SAW温度传感器具有无线无源的特点,在高温等恶劣环境中具有良好的应用前景。电极的高温稳定性是影响SAW温度传感器件工作温度的重要因素,采用耐高温的压电材料CTGS作为压电基

【作者】

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王博文刘兴鹏彭斌李凌岳虎虎房赛张万里

【机构】

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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室

【出处】

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中国测试

【发表日期】

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2020年12期

【关键词】

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声表面波温度传感器 CTGS 多层薄膜电极 surface acoustic wave temperature sensor CTGS multilayer

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SAW温度传感器具有无线无源的特点,在高温等恶劣环境中具有良好的应用前景。电极的高温稳定性是影响SAW温度传感器件工作温度的重要因素,采用耐高温的压电材料CTGS作为压电基底,通过PLD技术在压电基底表面制备Al2O3/ITO/Pt/Al2O3多层薄膜作为电极,氧化铝作为保护层能够抑制高温下金属薄膜的团聚现象以提高电极的高温稳定性,利用高温下ITO薄膜的导电性来补偿Pt薄膜高温下增大的电阻率,这种多层薄膜结构能够在高温环境中保持较好的稳定性。测试结果表明,所制作的SAW温度传感器可以工作至1000℃,在1

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