Bi_2Te_3-Bi_2Se_3-Sb_2Te_3赝三元热电材料红外热堆探测器

来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lsdkj
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本文所提出的红外辐射探测器是由具有同一个辐射接收面、6对热电偶串联而成。所选用的热电材料为具有高优值系数的Bi2Te3-Bi2Se3-Sb2Te3赝三元热电合金材料。通过器件尺寸的优化,取得了较高的灵敏度。文中系统阐述了探测器的制作工艺和器件性能。
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