纳米TiO2／ITO复合薄膜的光诱导亲水性研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：robitewx

【摘要】

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本文采用直流反应磁控溅射法及能量过滤磁控溅射技术，以玻璃为衬底制备了纳米TiO2薄膜和纳米TiO2／ITO复合薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、紫外-可见分光光度计（UV—VIS）、

【作者】

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赵君娜姚宁张兵临

【机构】

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郑州大学物理工程学院

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2009年5期

【关键词】

：

亲水性接触角能量过滤磁控溅射纳米TiO2/ITO复合薄膜 Hydrophilicity Contact angle Energy filtered m

【基金项目】

：

教育部重点项目基金（No.205091）

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本文采用直流反应磁控溅射法及能量过滤磁控溅射技术，以玻璃为衬底制备了纳米TiO2薄膜和纳米TiO2／ITO复合薄膜。利用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）、紫外-可见分光光度计（UV—VIS）、椭偏光谱仪（WASE型）和接触角测定等手段对薄膜进行了表征。研究表明：纳米TiO2／ITO复合薄膜表面水的初始接触角较纳米TiO2薄膜明显减小，ITO膜层的存在抑制了光生载流子的复合，在紫外光照射5min后接触角迅速下降，紫外光照射30min后接近0°，亲水性较纳米TiO2薄膜有明显提高；应用能量过

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