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近年来与金刚石成核有关的技术研究取得了较大的进展.本文综述了衬底表面的预处理对增强利用化学气机沉积生长金刚石薄膜成核的作用,并进行了分析和讨论.
衬底表面预处理增强金刚石薄膜成核的研究进展
【摘 要】
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近年来与金刚石成核有关的技术研究取得了较大的进展.本文综述了衬底表面的预处理对增强利用化学气机沉积生长金刚石薄膜成核的作用,并进行了分析和讨论.
【机 构】
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河南省粮食学校,重庆大学应用物理系,驻马店教育学院物理系
【出 处】
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平原大学学报
【发表日期】
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2001年2期
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