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光刻胶是集成电路中实现芯片图形转移的关键基础化学材料，在光刻胶的高端领域，技术一直为美国、日本厂商等所垄断；近年来，本士光刻胶供应商开始涉足高档光刻胶的研发与生产，苏州华飞微电子材料有限公司即是其中之。
华飞微电子：国产高档光刻胶的先行者
【摘 要】
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光刻胶是集成电路中实现芯片图形转移的关键基础化学材料，在光刻胶的高端领域，技术一直为美国、日本厂商等所垄断；近年来，本士光刻胶供应商开始涉足高档光刻胶的研发与生产，苏州华
【机 构】
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中国半导体行业协会
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2007年12期
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