用于热障涂层检测的柔性平面电容传感器

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对用于热障涂层缺陷检测的平面电容传感器的工作原理进行了分析,利用COMSOL有限元仿真软件对传感器结构进行了优化设计,制备了可用于发动机叶片热障涂层缺陷检测的柔性平面电容传感器,并对传感器的性能进行了测试。测试结果表明,柔性平面电容传感器可以有效地检测出非金属材料的缺陷。
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