【摘 要】
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Ｎｉｋｏｎ公司加入了富有活力的深紫外光刻市场深紫外光刻市场将成为竞争场所。尼康美国分公司已推出ＮＳＲ—５２０１Ａ步进重复扫描系统，对ＳＶＧＬ公司提出挑战，是为２５６ＭＤＲＡＭ和下代微处理机生产设计的。目前正接受定货
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Ｎｉｋｏｎ公司加入了富有活力的深紫外光刻市场深紫外光刻市场将成为竞争场所。尼康美国分公司已推出ＮＳＲ—５２０１Ａ步进重复扫描系统，对ＳＶＧＬ公司提出挑战，是为２５６ＭＤＲＡＭ和下代微处理机生产设计的。目前正接受定货，１８个月后交货，价格大致为８２０万...
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