用于可调微波器件的介电Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜研究

来源 :四川大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gang_zai1314

【摘要】

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Ba_xSr_(1-x)TiO_3(BST)薄膜具备高的介电可调特性(介电常数在外加电场的作用下会发生改变)和低的介电损耗,这使得BST薄膜成为高速宽带可调微波器件(如相移器、可调带通和带

【作者】

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程波林王灿王守宇曹玲柱陈正豪金奎娟吕惠宾周岳亮

【机构】

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北京凝聚态物理国家实验室中国科学院物理研究所中国科学院物理研究所北京

【出处】

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四川大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2005年S1期

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Ba_xSr_(1-x)TiO_3(BST)薄膜具备高的介电可调特性(介电常数在外加电场的作用下会发生改变)和低的介电损耗,这使得BST薄膜成为高速宽带可调微波器件(如相移器、可调带通和带阻滤波器、谐波发生器等)的首选材料,近年来受到世界各国多个研究小组的关注与研究.此研究工作报道采用成分梯度多层膜结构、受主掺杂和复合掺杂方法调控薄膜内部的应力以及电子结构,有效地优化BST薄膜的介电和电学等性能的最新进展.采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO基片上制备高Sr组分的Ba0.02Sr0.98Ti O3薄膜.

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