【摘 要】
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本文对电场增强离子迁移法制作的LiNbO3光波导样品作了不同于已有分析方法的X光电子能谱（XPS）分析,对不同模数正、负波导面上的Ag、Tl、Nb、O等元素进行了测定,并对波导层中所
【机 构】
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上海交通大学; 复旦大学; 上海交通大学;
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本文对电场增强离子迁移法制作的LiNbO3光波导样品作了不同于已有分析方法的X光电子能谱（XPS）分析,对不同模数正、负波导面上的Ag、Tl、Nb、O等元素进行了测定,并对波导层中所含的Ag、Tl离子进行了剖面分析.分析结果表明:电场增强离子迁移法制作的LiNbO3波导中,Nb5+没有变价.正波导面上Ag离子的含量随盐浴时间的延长而增加,而负波导面上则无此规律.剖面分析结果表明,Ag+、Tl+离子内迁的深度为500～2500（?）;正波导面的离子分布呈现一个台阶然后再以余误差分布下降,负波导面的离子分布为余误差分布;与光学测量计算结果比较,离子内迁深度不超过波导层的1/10.
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