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Ti2AlNb合金（O相）具有高的比强度、断裂韧性以及优良的抗蠕变性能，因而在航空制造中成为一种颇具吸引力的高温结构材料。但是，较差的耐磨性是其主要的缺陷并限制其实际应用。为解决这一问题，对Ti2AlNb合金进行双层辉光等离子表面渗Mo。探讨主要工艺参数对Mo的扩散行为的影响。采用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和辉光放电光谱仪（GDS）分析表面合金化层的成分分布和微观结构。测定从表面到中心的显微硬度变化曲线。结果表明温度与时间均对扩散过程具有显著的影响。最后通过回归分析计算出在优化的工艺温度98