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本文主要介绍了AlN的成瓷工艺 ,金属化方法、特性及在新型电子元器件中的应用示例 ,AlN在功率电子领域有望取代BeO ,成为本世纪大量应用的主导电子材料。
新型功率混合集成电路材料——氮化铝(AlN)
【摘 要】
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本文主要介绍了AlN的成瓷工艺 ,金属化方法、特性及在新型电子元器件中的应用示例 ,AlN在功率电子领域有望取代BeO ,成为本世纪大量应用的主导电子材料。
【机 构】
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信息产业部电子第43研究所!安徽合肥; 230000;
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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2001年03期
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