【摘 要】
：
针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构,从原理上对桥式放大
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
论文部分内容阅读
针对基于剪切干涉原理的光刻投影物镜波像差检测设备中相移测量的需求,设计了一种移相装置.该装置采用了桥式放大机构,获得了较大放大比和相对紧凑的结构,从原理上对桥式放大机构进行了分析和讨论,得到了输入位移与其放大比之间的函数关系,并得到了其关系曲线,经过非线性有限元分析,对该装置的变形、受力和模态特性进行了验证,验证结果满足检测平台移相要求.
其他文献
为实现结构紧凑、高灵敏度的光纤压力(液压)侍感器,提出了一种应用于液压传感的边孔结构光子晶体光纤.基于全矢量有限元方法,研究了传统光子晶体光纤和边孔结构光子晶体光纤
提出了一种基于同心离轴双反射系统的成像光谱仪，该系统由四片球面反射镜与一块平面光栅组成．在分析同心离轴双反射系统的基础上，结合像差理论与光程函数概念，推导了同心离轴双反
香港回归后粤台关系展望研讨会综述范海泉由广东省台湾事务办公室和广东省社会科学院联合举办的“香港回归后粤台关系展望研讨会”，１９９７年９月９—１０日在顺德市召开。这是我省召开的第一次关于台湾问题的理论工作者与实际工作者共同参加的大型研讨会，省内各大专院...
基于STM32微处理器采用偏振控制器反馈技术并结合遗传算法对50km长距离分布式光纤振动传感系统中偏振衰落进行抑制．结合STM32与PCD-M02型偏振控制模块特性，优化遗传算法相关参
从等离子体中自由电子密度速率方程出发,考虑到脉冲激光在聚焦区域的特征以及液体中光击穿的实验情况,提出了等离子体椭球模型.通过该模型的建立,对自由电子密度速率方程中电
提出一种基于光纤腔衰荡系统并以一小段包层腐蚀光纤作为传感头的液体挥发测量方法，同时搭建相应的实验装置进行了实验研究．从模式理论出发分析单模光纤传输模场的能量分布，并采
从南越国“景巷令印”，“南越中大夫”印考释蠡测南越国的官僚政体萧亢达近年随着两广地区考古事业的发展，西汉南越国的墓葬陆续出土了一批官印，其中以广州西汉南越王墓出土的官
用量子理论新方法研究光的双缝衍射实验现象,首先用光的量子理论计算光在缝中双缝衍射的波函数,再由基尔霍夫定律计算光的衍射波函数,由衍射强度正比于衍射波函数模方,从而得
raman激光雷达是用于大气成分探测与特性研究的有效工具.介绍了中科院安徽光学精密机械研究所自行研制的一台用于测量低对流层大气co2时空分布的raman激光雷达系统,并进行了