PLASMADETEK-PED等离子发射气相色谱仪在半导体工业的10-9级气体分析应用

来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jhson47
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
等离子发射检测器(Plasma Emission Detector)是一种应用于气相色谱仪的新型检测器。等离子体(plasma)不是一种新技术,早在20世纪30年代已经产生,到20世纪70年代随着电子和材料科学的发展,等离子体技术取得了较大的发展,在基础工业和高科技领域获得了广泛的应用。Plasma Detek是一种超高灵敏度的检测器,可以很好地解决一般高纯气体或者混合气体的微量痕量分析,加拿大LDetek仪器公司团队经过近20年的探索,Plasma在特气和半导体气体方面也得到了越来越广泛的应用,并且取得
其他文献
该文试图以女主人公的情感世界为切入点,对潮剧《彩楼记》和电影《呼啸山庄》进行比较,并阐述这两部作品所体现出来的中西方社会文化差异。
采用称量法制备并计算定值,研制(10-100)×10^-6(mol/mol)六氟化硫中六氟乙烷气体标准物质。采用自主研制的钢瓶自动清洗系统、配气系统和优化的配气工艺流程保证了研制水平
为促进设施蔬菜化学、农药减量增效,对湖北省大棚莴苣主要病虫害的发生情况进行了调查,提出了集农业防治、物理防治、生物防治以及化学农药科学应用为一体的轻简化绿色防控技
文章简要介绍了自动交换光网络(ASON)设备的应用现状、电力光传输网的网络结构、建设方式、业务类型和流向及存在的问题,指出了ASON适用于骨干/城域网的特点,并从网络规划设计、演
文章在分析长周期光纤光栅的透射特性的基础上,提出超结构长周期光栅(SSLPG)具有与超结构布拉格光栅(SSFBG)的反射谱相似的交叉透射谱,并提出利用色散补偿光纤(DCF)中基模和内包层模
对-40℃氯化氢储罐的保冷设计进行了论述,选取了合适的保冷材料,分别考察了保冷厚度和环境温度与冷损失、氯化氢蒸发量的关系。
“好机友,一辈子!你若鞍好,便是晴天,你若鞍不好,英雄也气短!水至清则无鱼,‘屏’至清则无敌!英雄不问出处,散热只拼温度,‘芯’静自然凉!跑得过汗血宝马,打得过伏地魔,攻得下城门。