【摘 要】
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针对原子力显微镜（AFM）扫描样品时因受系统温漂影响导致扫描图像失真的问题,提出一种基于温漂补偿模型的AFM图像重构方法。利用AFM图像在快速扫描方向上精度相对较高的特点,关
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61305125);国家博士后面上基金项目(2013M530955);国家博士后特别基金项目(2014T70265)
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针对原子力显微镜（AFM）扫描样品时因受系统温漂影响导致扫描图像失真的问题,提出一种基于温漂补偿模型的AFM图像重构方法。利用AFM图像在快速扫描方向上精度相对较高的特点,关联同一样本的两个不同角度的扫描图像,定义偏移矢量,建立起温漂模型。通过实验仿真验证了该方法有效性,在此基础上校正AFM图像,实验结果表明,该方法能有效降低系统温漂的影响,提高AFM图像质量。
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