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多晶硅有机废水COD高,可生化性差,是目前多晶硅行业水污染治理的重点和难点。工程采用EGSB-ABR-接触氧化工艺处理多晶硅有机废水,主要考察多级厌氧系统的启动运行特性,并开展相应的机理分析。应用研究表明多级厌氧组合工艺具有很好的耦合性和处理效果,梯度提升负荷法对厌氧反应器的顺利启动具重要作用,还探讨了启动中的酸化问题及解决措施。