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对于宇宙的探讨,特别是对太阳大气层的研究,用X射线、极紫外及远紫外波段望远镜来观测。我们报道了一种新的材料组合C/Si用于28.4nm(43.65ev)和30.4nm(40.78eV)波段的多层膜反射镜,并且用离子束溅射装置制备了正入射条件下的C/Si多层反射镜。同时我们用软X射线反射计测量了其反射率,在正入射条件下测得最大反射率达14%(30.4nm)