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针对微电子领域芯片管脚间距离小,测量难度大等问题,利用CCD传感器的工作原理,提出了一种基于图像测量技术的芯片检测系统。根据中值滤波和均值滤波两种滤波原理,生成了一种新方法来实现图像滤波;通过对伪边界点抑制的亚像素细分算法的改进,提高了检测的速率,并采用二次标定法对系统进行标定。检测系统经过图像采集、图像处理以及测量等过程,实现了对芯片管脚间距、数目等的快速测量。