【摘 要】
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1.激光扫描显微镜LSM320激光扫描显微镜具有一个集成的操作计算机和Windows接口,可在故障分析实验室及半导体研究和开发领域中获得应用。该仪器提供许多先进技术,其中包括直
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1.激光扫描显微镜LSM320激光扫描显微镜具有一个集成的操作计算机和Windows接口,可在故障分析实验室及半导体研究和开发领域中获得应用。该仪器提供许多先进技术,其中包括直接观察、共焦点激光扫描、激光束试验、通向发射显微镜的光感应电流及红外检测。
1. Laser Scanning Microscope The LSM320 laser scanning microscope has an integrated operator computer and Windows interface for applications in failure analysis labs and semiconductor research and development. The instrument offers many advanced technologies, including direct observation, confocal laser scanning, laser beam testing, photo-induced current to the emission microscope, and infrared detection.
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