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φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究
φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究
来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:auh123123
【摘 要】
:
采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm×180mm大尺寸Al2O3晶体。探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关
【作 者】
:
于旭东
孙广年
张会选
吕进
王进学
孙亮
【机 构】
:
浙江巨兴光学材料有限公司
【出 处】
:
人工晶体学报
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
大直径Al2O3
晶体
温度梯度
晶体开裂
large size Al2O3 single crystal temperature gradient cryst
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采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm×180mm大尺寸Al2O3晶体。探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件。
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