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近年来激光散斑计量技术发展迅速,已在许多领域得到了广泛应用。本文简要介绍了其中的电子散斑干涉法、错位散斑干涉法和散斑相关测量法,并对散斑图的处理方法进行了总结,概述了该技术近年来的发展及应用。
激光散斑计量技术及其应用
【摘 要】
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近年来激光散斑计量技术发展迅速,已在许多领域得到了广泛应用。本文简要介绍了其中的电子散斑干涉法、错位散斑干涉法和散斑相关测量法,并对散斑图的处理方法进行了总结,概
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,江苏曙光光学电子仪器厂
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2005年03期
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