磁控溅射沉积纳米结构银薄膜及其表征

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本文通过利用频磁控溅射方法,选择和控制沉积薄膜工艺参数,在石英和高定向热解石墨(HOPG)上制备出纳米尺度的银膜。利用扫描隧道显微镜(STM)对银摹表面形貌和分布观察分析可得,纳米银颗粒的直径在3nm到20nm之间,经过紫外-可见-近红外透射光谱(UV-VIS-NIR)测量证明:当纳米银颗粒的粒径在此范围内时,银膜的光学特征吸收峰的位置随着粒径的增大“红移”不大,但其半峰宽却随粒径的增大而增大。
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