超光滑表面非接触定量测量研究

来源 :机床与液压 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lomina
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通过把光强信息转化为相位信息来分析表面高度与相位之间的关系,利用Wiener滤波消除噪声并恢复信号,从而建立了一种有效的非接触式定量测量模型。采用电信号处理系统提高了测量的效率和精度。
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