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Additional Polishing Process and the Pin-Up Speed Optimization for the Prevention of Linear Crack of
【机 构】
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SamsungElectronics（Suzhou）SemiconductorCo.Ltd.,SamsungElectronics（Suzhou）SemiconductorCo.Ltd.Suzhou2
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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2007年S2期
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