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采用惰性气体凝聚法获得非金属团簇淀积体.透射电子显微分析及动力学模拟结果表明:纳米团簇淀积体的生长、聚集过程对构成团簇的原子的热力学性质、团簇制备中的蒸发率和惰性气体气压及淀积温度等参数极为敏感.在团簇的淀积体中,随生长条件不同,将会出现不同的聚集结构.因此可在一定程度上定量控制团簇淀积体的聚集状态,获得特定的纳米结构图案.