用劳埃德镜干涉原理进行圆度误差测量

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提出一种应用线阵CCD自动测量圆度误差的新方法。论述了系统利用劳埃德镜干涉装置 ,通过线阵CCD图像处理系统自动测量圆度误差的工作原理及过程设计。测量结果表明 ,新的测量方法实现了圆度误差的实时精确在线测量。该测量系统具有一定的实用价值及较广阔的应用前景 A new method of automatically measuring the roundness error using linear CCD is proposed. The working principle and process design of the system using Lloyd’s mirror interference device to measure the roundness error automatically by the linear CCD image processing system are discussed. The measurement results show that the new measurement method real-time accurate on-line measurement of roundness error. The measurement system has a certain practical value and broader application prospects
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