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太阳能电池生产过程中,扩散工艺中的硅片承载体石英舟在进行气体饱和时会导致扩散设备尾气管气路堵塞。通过对其堵塞原因进行分析,发现堵塞的原因是由于固态五氧化二磷的生成,通过在积液瓶中加入一定量的水,使固态的五氧化二磷转变成液态的磷酸就可以成功地解决堵塞的问题。这将改善频繁清洗导致的停机时间和设备老化问题,间接提高了产量,增加了尾气管和积液瓶的使用寿命。