图象式绝对码位移测量系统的研究

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lwgalj2005
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在分析了传统光学式位移测量系统及现代数字化位移测量系统优缺点的基础上,提出了一种新的图象式位移测量比方记叙民传统位移系统相比,具有精度高、抗能力强、长期稳定性好、应用范围广等优点,给出了新系统的结构、工作原理,讨论了系统实施的精度保证措施。最后,分析了系统的精度,并通过实验与双频激光干涉仪的测试结果进行比较。
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