一、二、三代三氯硅烷法多晶硅生产技术发展与比较

来源 :扬州工业职业技术学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jackydmb
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本文简要介绍了多晶硅及其应用情况。重点闸述了第一、二、三代多晶硅产品的反应原理、工艺流程和生产方法,并进行了初步的比较,突显了第三代生产技术的优势,为我国多晶硅产业建设和升级提供了基本素材。 This article briefly introduces polysilicon and its applications. The first, second and third generations of polycrystalline silicon products, the reaction principle, process and production methods, and carried out a preliminary comparison, highlighting the advantages of the third generation of production technology for the polysilicon industry in our country to provide the basic material for the building and upgrading .
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