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本文给出了欧姆接触的评价方法且实验得到了低欧姆接触电阻率的样品,随着预扩散温度的从1100℃变化到1150℃,欧姆接触电阻率从7.8×10~（-6）Ω·cm2,5.5×10~（-6）Ω·cm2,1.3×10~（-6）Ω·cm2依次降低。
铝硅欧姆接触电阻率与预扩散温度的关系
【摘 要】
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本文给出了欧姆接触的评价方法且实验得到了低欧姆接触电阻率的样品,随着预扩散温度的从1100℃变化到1150℃,欧姆接触电阻率从7.8×10~（-6）Ω·cm2,5.5×10~（-6）Ω&#
【机 构】
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国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2016年5期
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