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应用溶胶－凝胶方法制备了ＹＳＺ薄膜，通过ＸＲＤ，ＳＥＭ和低频阻抗分析仪等分析手段，研究了ＹＳＺ薄膜的相结构，形貌特征及其电导性能，结果表明，应用溶胶－凝胶方法制备的ＹＳＺ薄膜经８００℃以上热处理后形成完整的立方相结构，随着烧结温度的升高，薄膜表面变得致密，气孔明显减少，至１０５０℃时，薄膜表面光滑，无裂纹，无针孔，圆球形的小颗粒均匀分布，薄膜与衬底的结合紧密，薄膜厚度均匀，膜厚约为１．０μｍ，阻抗