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晶体硅中的杂质或缺陷会显著地影响各种硅基器件的性能。用常规化学腐蚀法显示出单晶硅中的缺陷,观察典型的位错。通过实验发现缺陷分布的一般规律：中间尺寸大,密度小,边缘尺寸小,密度大,验证缺陷对杂质的吸收。
单晶硅缺陷的分析
【摘 要】
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晶体硅中的杂质或缺陷会显著地影响各种硅基器件的性能。用常规化学腐蚀法显示出单晶硅中的缺陷,观察典型的位错。通过实验发现缺陷分布的一般规律：中间尺寸大,密度小,边缘尺
【机 构】
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湖南科技学院
【出 处】
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湖南科技学院学报
【发表日期】
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2011年4期
【基金项目】
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永州市2010年度指导性科技项目
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