【摘 要】
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氟化类金刚石膜是基于传统类金刚石膜的基础上发展起来的一种改性材料,该膜具有许多良好的性能,包括疏水性能、电学性能、光学性能、机械性能、热稳定性以及生物相容性,因此
【机 构】
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大连理工大学化工学院,大连理工大学化工学院,大连理工大学三束改性国家重点实验室 辽宁大连116012,辽宁大连116012,辽宁大连116012
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氟化类金刚石膜是基于传统类金刚石膜的基础上发展起来的一种改性材料,该膜具有许多良好的性能,包括疏水性能、电学性能、光学性能、机械性能、热稳定性以及生物相容性,因此引起了人们的极大关注。本文介绍了氟化类金刚石膜的结构、性能、应用领域和发展趋势。
Fluorine-doped diamond films are based on the traditional diamond-like carbon films developed a modified material, the film has many good properties, including hydrophobic properties, electrical properties, optical properties, mechanical properties, thermal stability and biological phase Capacitive, so attracted the great attention of people. This paper introduces the structure, properties, application fields and development trend of fluorinated diamond films.
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