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薄膜内应力的存在是薄膜生产、制备过程中的普遍现象。应力的产生与薄膜的成核、生长以及微观结构密切相关。本文综述了目前已提出的各种有关应力起源的理论模型,并对磁控溅射 Co-Cr 和 Gd-Fe 二元合金薄膜的应力产生机制进行讨论。
薄膜内应力的起源
【摘 要】
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薄膜内应力的存在是薄膜生产、制备过程中的普遍现象。应力的产生与薄膜的成核、生长以及微观结构密切相关。本文综述了目前已提出的各种有关应力起源的理论模型,并对磁控溅
【机 构】
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清华大学,佛山市陶瓷研究所
【出 处】
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材料科学与工程
【发表日期】
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1996年01期
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